TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Kronast, Wolfgang
A1  - Lange, Volker
A1  - Huster, Rolf
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
T2  - MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe
KW  - CD-ROM
Y1  - 2015
SN  - 978-3-8007-4100-7
SB  - 978-3-8007-4100-7
SP  - 523
EP  - 526
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -