TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Muthiah, Uma
A1  - Khazi, Isman M.
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - 3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie
T2  - MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München
KW  - CD-ROM
Y1  - 2017
SN  - 978-3-8007-4491-6
SB  - 978-3-8007-4491-6
SP  - 692
EP  - 695
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  -