@inproceedings{KovacsMalisauskaiteIvanovetal.2013,
  author    = {Andras Kovacs and Aina Malisauskaite and Alexey Ivanov and Ulrich Mescheder},
  title     = {Steuerung der Peaklage und der Sensitivit{\"a}t von siliziumbasierten por{\"o}sen optischen Multischichten},
  series = {Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen},
  publisher = {VDE-Verlag},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-8007-3555-6},
  pages     = {185 -- 188},
  year      = {2013},
  language  = {de}
}