@inproceedings{KronastLangeHusteretal.2015, author = {Wolfgang Kronast and Volker Lange and Rolf Huster and Ulrich Mescheder}, title = {Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit gro{\"s}er Apertur}, series = {MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-8007-4100-7}, pages = {523 -- 526}, year = {2015}, language = {de} }