@phdthesis{Scheuble2017,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Lukas Scheuble},
  title     = {Entwicklung und Evaluation von Verfahren zum Transfer kleiner Dies},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:fn1-opus4-60900},
  pages     = {63},
  year      = {2017},
  abstract  = {Im Rahmen dieser Master-Thesis wurden Verfahren zum Transfer eines Arrays kleiner Dies (unverkapselte Chips) mit einer Kantenl{\"a}nge von 250 μm bis 300 μm untersucht. Die Dies sollten hierbei von UV-lichtempfindlicher Folie selektiv abgehoben und auf einem Zielsubstrat abgesetzt werden. Als Verfahren wurde die Stempeltechnologie gew{\"a}hlt. Zum Aufnehmen der Dies wurden Stempel aus Silikon gegossen. Als Substrate zum Absetzen der Dies wurden Gl{\"a}ser mit Zucker beschichtet. Zur {\"U}berpr{\"u}fung des Verfahrens wurden Zugversuche durchgef{\"u}hrt. Die senkrechte Abzugskraft der verwendeten Folie und der Silikonstempel wurde ermittelt. Durch Abzugstests der Folie im belichteten und unbelichteten Zustand wurden die genutzten Belichtungsprozesse {\"u}berpr{\"u}ft. Das Umsetzen wurde mit ges{\"a}gten St{\"u}cken eines Siliziumwafers durchgef{\"u}hrt. Es konnte nachgewiesen werden, dass das Umsetzen mit Silikonstempeln m{\"o}glich ist und die erzeugten Kr{\"a}fte hierf{\"u}r ausreichen. Die Herstellung und Vorbereitung der ges{\"a}gten Siliziumw{\"u}rfel erwies sich hierbei als kritischer Prozess, was die Reproduzierbarkeit der Umsetzung stark beeintr{\"a}chtigt.},
  language  = {de}
}