TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Kovacs, Andras
A1  - Malisauskaite, Aina
A1  - Ivanov, Alexey
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
T2  - Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
KW  - CD-ROM
Y1  - 2013
SN  - 978-3-8007-3555-6
SB  - 978-3-8007-3555-6
SP  - 185
EP  - 188
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -