TY  - RPRT
U1  - Forschungsbericht
A1  - Bretz, Rainer
A1  - Lange, Volker
A1  - Kühlke, Dietrich
T1  - Sensorik: Weisslichtinterferometrie für tiefenaufgelöste Messungen
T2  - Forschungsbericht
Y2  - 2005
SP  - 83
EP  - 85
ER  -