@inproceedings{IvanovMeschederKovacsetal.2007,
  author    = {Alexey Ivanov and Ulrich Mescheder and Andras Kovacs and Rolf Huster},
  title     = {Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von por{\"o}sem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung},
  series = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden},
  publisher = {VDE-Verlag},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-8007-3061-2},
  year      = {2007},
  language  = {de}
}