TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Majer, S.
A1  - Keller, R.
T1  - 2-Achsen Si-Neigungssensor: Simulation und Realisierung
T2  - Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091255-3
SB  - 3-18-091255-3
SP  - 83
EP  - 93
PB  - VDI Verlag
CY  - Düsseldorf
ER  -