TY - RPRT U1 - Forschungsbericht A1 - Kronast, Wolfgang A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Nanotechnologie: Das Rasterkraftmikroskop (AFM) - Strukturierung und Charakterisierung im Nanometerbereich T2 - Forschungsbericht Y2 - 2005 SP - 47 EP - 53 ER -