@misc{MeschederKovacsJonnalagaddaetal.2009,
  author    = {Ulrich Mescheder and Andras Kovacs and Prasad Jonnalagadda and Antwi Nimo},
  title     = {Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberfl{\"a}chen},
  url       = {https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat\&docid=DE102009008772A1},
  year      = {2009}
}