TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Pähler, Dietmar
T1  - Measurement of local contact zone forces in rotational grinding of silicon wafers
T2  - Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung 2010 : neue Entwicklungen und Trends aus Forschung und Praxis / 8. Seminar "Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung" am 11.05.2010 in Stuttgart
Y1  - 2010
SN  - 978-3-8027-2957-7
SB  - 978-3-8027-2957-7
SP  - 6-1
EP  - 6-26
PB  - Vulkan Verlag
CY  - Villingen-Schwenningen
ER  -