@article{BucherNisch2010, author = {Volker Bucher and Wilfried Nisch}, title = {Beschichtungen f{\"u}r Life Science: Vakuumbeschichtungstechnik und Plasmabehandlung von Mikrosystemen in Medizintechnik, Pharmaforschung und Biologie}, series = {Vakuum in Forschung und Praxis}, volume = {22.2010}, number = {1}, issn = {1522-2454}, doi = {10.1002/vipr.201000405}, pages = {14 -- 24}, year = {2010}, language = {de} }