TY - JOUR U1 - Zeitschriftenartikel, wissenschaftlich - begutachtet (reviewed) A1 - Bucher, Volker A1 - Nisch, Wilfried T1 - Beschichtungen für Life Science: Vakuumbeschichtungstechnik und Plasmabehandlung von Mikrosystemen in Medizintechnik, Pharmaforschung und Biologie JF - Vakuum in Forschung und Praxis Y1 - 2010 SN - 1522-2454 SS - 1522-2454 U6 - https://doi.org/10.1002/vipr.201000405 DO - https://doi.org/10.1002/vipr.201000405 VL - 22.2010 IS - 1 SP - 14 EP - 24 ER -