@inproceedings{MackensMeschederLuethje1989,
  author    = {U. Mackens and Ulrich Mescheder and H. L{\"u}thje},
  title     = {R{\"o}ntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen},
  series = {Mikroelektronik: Vortr{\"a}ge der GME-Fachtagung vom 13. bis 15. M{\"a}rz 1989 in Baden-Baden},
  publisher = {VDE-Verlag},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {3-8007-1624-0},
  issn      = {0176-8867},
  pages     = {115 -- 126},
  year      = {1989},
  language  = {de}
}