TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Kronast, Wolfgang
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Müller, Bernhard
A1  - Huster, Rolf
T1  - Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie
T2  - Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
KW  - CD-ROM
Y1  - 2013
SN  - 978-3-8007-3555-6
SB  - 978-3-8007-3555-6
SP  - 432
EP  - 435
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -