TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Albers, Albert A1 - Enkler, Hans-Georg T1 - Rechnergestützte Formoptimierung von urgeformten Mikrobauteilen T2 - MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany KW - CD-ROM Y1 - 2009 SN - 978-3-8007-3183-1 SB - 978-3-8007-3183-1 SP - 376 EP - 380 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -