TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Kovacs, Andras A1 - Jonnalagadda, Prasad A1 - Nimo, Antwi T1 - Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration T2 - MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany KW - CD-ROM Y1 - 2009 SN - 978-3-8007-3183-1 SB - 978-3-8007-3183-1 SP - 4 S1 - 4 ER -