TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Sittkus, Benjamin A1 - Kovacs, Andras A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Fabrication of a microfluidic system with columnar structures using DRIE for blood brain barrier applications T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin Y1 - 2019 UR - https://ieeexplore.ieee.org/document/9012804 SN - 978-3-8007-5090-0 SB - 978-3-8007-5090-0 SP - 750 EP - 753 PB - VDE Verlag CY - Berlin ER -