TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Khazi, Isman M. A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Influence of electrochemical operating conditions on the microme-chanical properties of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys for fabrication of microtools T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin Y1 - 2019 UR - https://ieeexplore.ieee.org/document/9012795 SN - 978-3-8007-5090-0 SB - 978-3-8007-5090-0 SP - 599 EP - 602 PB - VDE Verlag CY - Berlin ER -