TY  - RPRT
U1  - Forschungsbericht
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Kronast, Wolfgang
T1  - Mikrotechnologie: Lebensdaueruntersuchungen an mikromechanischen Bauelementen
T2  - Forschungsbericht
Y2  - 2002
SP  - 22
EP  - 26
ER  -