TY  - GEN
U1  - Sonstiges
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Kötter, Christiane
T1  - Verfahren und Vorrichtung zur photoinduzierten Kontrolle des anisotropen Ätzens von kristallinem Silizium
KW  - Patent
Y1  - 1998
UR  - https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE000019811965A1
ER  -