TY - JOUR U1 - Wissenschaftlicher Artikel A1 - Blendinger, Felix A1 - Metzger, Michael A1 - Hähnel, Daniel A1 - Fleischer, Monika A1 - Bucher, Volker T1 - In situ Prozess-Visualisierung/Optimierung und Anwendung der Atomlagenabscheidung JF - WOMag Y1 - 2018 UR - https://www.wotech-technical-media.de/womag/ausgabe/2018/01-02/WOMag_1-2_18_frei.pdf SN - 2195-5905 SS - 2195-5905 VL - 7.2018 IS - 1-2 SP - 16 EP - 21 ER -