TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Mackens, U.
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Lüthje, H.
T1  - Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen
T2  - Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden
Y1  - 1989
SN  - 0176-8867
SS  - 0176-8867
SN  - 3-8007-1624-0
SB  - 3-8007-1624-0
SP  - 115
EP  - 126
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -