TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Kovacs, Andras A1 - Ivanov, Alexey A1 - Malisauskaite, Aina A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen T2 - 74. Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin KW - CD-ROM Y1 - 2012 SN - 978-3-8007-3473-3 SB - 978-3-8007-3473-3 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -