TY  - JOUR
U1  - Zeitschriftenartikel, nicht wissenschaftlich
A1  - Bucher, Volker
A1  - Kapp-Schwoerer, Diethard
T1  - Plasmabeschichtung in der Mikrotechnik
JF  - Mikroproduktion
Y1  - 2008
SN  - 1614-4538
SS  - 1614-4538
IS  - 5
SP  - 24
EP  - 27
ER  -