TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Keshavarzi, Shervin
A1  - Kovacs, Andras
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Surface Passivated Porous Silicon-Based Antireflective Coating
T2  - MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany
KW  - Poster
Y1  - 2023
ER  -