@techreport{MeschederKovacs2000, author = {Ulrich Mescheder and Andras Kovacs}, title = {Mikrotechnologie: Herstellung von por{\"o}sem Silizium und seine Anwendungsm{\"o}glichkeit in der Sensortechnologie}, series = {Forschungsbericht}, year = {2000}, language = {de} }