@article{BlendingerMetzgerH{\"a}hneletal.2018,
  author    = {Blendinger, Felix and Metzger, Michael and H{\"a}hnel, Daniel and Fleischer, Monika and Bucher, Volker},
  title     = {In situ Prozess-Visualisierung/Optimierung und Anwendung der Atomlagenabscheidung},
  journal   = {WOMag},
  volume    = {7.2018},
  number    = {1-2},
  issn      = {2195-5905},
  url       = {https://www.wotech-technical-media.de/womag/ausgabe/2018/01-02/WOMag_1-2_18_frei.pdf},
  pages     = {16 -- 21},
  year      = {2018},
  language  = {de}
}