TY  - RPRT
U1  - Forschungsbericht
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Mikrosystemtechnik: Ergebnisse aus dem Forschungsnetzwerk ZeMiS (Zentrum für Mikrotechnik und Systemintegration)
T2  - Forschungsbericht
Y2  - 2007
SP  - 36
EP  - 41
ER  -