@techreport{Mescheder2007,
  author    = {Ulrich Mescheder},
  title     = {Mikrosystemtechnik: Ergebnisse aus dem Forschungsnetzwerk ZeMiS (Zentrum f{\"u}r Mikrotechnik und Systemintegration)},
  series = {Forschungsbericht},
  year      = {2007},
  language  = {de}
}