TY - RPRT U1 - Forschungsbericht A1 - Huster, Rolf A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Valero, R. T1 - Mikrotechnologie: Mikrofreiformerzeugung in Silizium T2 - Forschungsbericht Y2 - 2005 SP - 41 EP - 46 ER -