TY  - RPRT
U1  - Forschungsbericht
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Kovacs, Andras
T1  - Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie
T2  - Forschungsbericht
Y2  - 2000
SP  - 10
EP  - 11
ER  -