@misc{MeschederKoetter1998,
  author    = {Ulrich Mescheder and Christiane K{\"o}tter},
  title     = {Verfahren und Vorrichtung zur photoinduzierten Kontrolle des anisotropen {\"A}tzens von kristallinem Silizium},
  url       = {https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat\&docid=DE000019811965A1},
  year      = {1998}
}