TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Majer, S.
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Konzept eines planaren 2-Achsen Silizium Neigungssensors
T2  - Mikro-System-Technik : Mikromechanik & Mikroelektronik ; Chemnitz '95 ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz
Y1  - 1995
SP  - 112
EP  - 120
ER  -