TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Majer, S.
T1  - Mikromechanischer Neigungssensor für industrielle Anwendungen
T2  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 23. - 26.09.1996, Technische Universität Ilmenau, Thüringen,  Band 1 Vortragsreihen
Y1  - 1996
SN  - 0943-7207
SS  - 0943-7207
SP  - 507
EP  - 514
ER  -