@inproceedings{MeschederMajer1996, author = {Ulrich Mescheder and S. Majer}, title = {Mikromechanischer Neigungssensor f{\"u}r industrielle Anwendungen}, series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 23. - 26.09.1996, Technische Universit{\"a}t Ilmenau, Th{\"u}ringen, Band 1 Vortragsreihen}, issn = {0943-7207}, pages = {507 -- 514}, year = {1996}, language = {de} }