TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Kögler, Daniela A1 - Huster, Rolf A1 - Kronast, Wolfgang A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System T2 - Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden KW - CD-ROM Y1 - 2007 SN - 978-3-8007-3061-2 SB - 978-3-8007-3061-2 SP - 4 S1 - 4 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -